半導体世界大手、米インテルや台湾積体電路製造(TSMC)などによる先端開発の風景が変わりつつある。回路の幅を小さくして集積度を高める「微細化」だけでは性能向上が追いつかず、新たな手法が求められるようになった。各社が開発を競うのは複数のチップを積み重ねて性能を高める3次元(3D)技術だ。半導体技術の新たな主役が登場する中で、日本の装置や素材企業にも商機が芽生えている。「『ムーアの法則』を製品レベ
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